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2026-01-04

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  公司专注半导体关键工艺材料,主要产品包括晶圆制造及先进封装用电镀及清洗液系列产品、半导体封装用电子化学材料、集成电路制造用高端光刻胶产品系列、配套设备产品、氟碳涂料产品系列及其它产品与服务。公司于2020年12月与北方集成电路技术创新中心(北京)有限公司签署《合作框架协议》,双方将在ArF(193nm)干法光刻胶产业化领域采取多样化的模式,开展广泛、深入的合作。 公司于2021年1月29日披露2020年度向特定对象发行股票募集说明书(注册稿),拟向不超过35名特定对象非公开发行不超过8719.47万股,募集不超过14.5亿元用于“集成电路制造用高端光刻胶研发、产业化项目”、“集成电路关键工艺材料项目”、“补充流动资金”。光刻胶项目拟投入8.15亿元,主要开发集成电路制造中ArF干法工艺使用的光刻胶和面向3D NAND(闪存,属于非易失性存储器)台阶刻蚀的KrF厚膜光刻胶产品,建成后ArF干式光刻胶年产能将达到5000加仑(约合18.93吨),预计2022年实现小批量生产和销售,2023年前实现上述光刻胶产品及配套试剂等的产业化;集成电路关键工艺材料项目拟投入3.35亿元,将为包括年产芯片铜互连超高纯电镀液系列、芯片高选择比超纯清洗液系列等多项产品合计新增年产能17000吨,其中高分辨率光刻胶系列规划新增年产能500吨。 公司于2021年6月30日晚公告,公司自主研发的KrF(248nm)厚膜光刻胶产品近日已通过客户认证,并成功取得第一笔订单。

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